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Implementation of the Level Set method for simulating the chemical wet anisoptrope attack process applied for microfabrication

typ_thesis

Spanish

<http://hdl.handle.net/10251/19214>

Abstract

[ES] En el presente trabajo se ha implementado el método Level Set (LS) para poder ser aplicado para simular el proceso de atacado anisótropo húmedo utilizado para la fabricación de microestructuras. En la actualidad para simular este proceso se utilizan modelos atomísticos, no obstante, el uso del método LS podía suponer ciertas ventajas. Finalmente, se comparan los resultados de ambas implementaciones. Montoliu Álvaro, C. (2012). Implementación del método Level Set para la simulación del proceso químico de atacado anisótropo húmedo aplicado para la microfabricación. http://hdl.handle.net/10251/19214 Archivo delegado

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